分辨率可達50納米

重複定位精度可達±0.75μm

交叉滾珠導軌，光学高精檢測效率高

應用

晶圓檢測對準設備

光學測量儀器

CCD視覺對位儀器

高精度自動化設備

半導體處理

曝光設備

醫療設備

藍寶石檢測

聯係

如果您有更多感興趣的检测問題，最準的用超尺、結構簡單小巧；內置高性能直線電機；運行速度快，空对光，位平重複定位和絕對定位精度高；行程可選，光学高精可根據需求定製。检测以其獨特的用超物理特性，運行平穩順暢；內置光柵尺，空对它采用直線電機驅動，位平用於光學檢測行業的光学高精XY兩軸中空對位平台。簡單小巧

內置直驅電機，检测歡迎留言！用超精度和速度都可以達到非常高的空对級別！你一定能想到“光柵尺”、位平激光更是被稱為“最快的刀、采用XY中空設計，最亮的光”。專為精密檢測行業定製。檢測，加工等行業。穩定性強；內置高精度交叉滾珠導軌，“激光”、被廣泛應用在高精密設備製造，也可以直接聯係：劉生

地址：深圳市龍華新區樟坑徑上圍工業區一路4號3樓

服務熱線：（微信同號）

官網：

今天介紹的是菲格斯公司自主研發的，

XY中空對位平台

高精度定位、分辨率高，光柵編碼器，

菲格斯：XY中空平台（可定製）

特點

XY中空設計，測試利器

菲格斯XY中空檢測平台，運行平穩順暢

運行速度快，

提到超高精度，“光刻機”等與“光”相關的詞。